上海誠懇為您揭秘擴(kuò)散硅變送器的那些事

　　作為壓力變送器中的一員，擴(kuò)散硅變送器可替代傳統(tǒng)的遠(yuǎn)傳壓力表，霍爾元件、差動變送器，并具有DDZ-Ⅱ及DDZ-Ⅲ型變送器性能。能與各種型號的動圈式指示儀、數(shù)字壓力表、電子電位差計配套使用，也能與智能調(diào)節(jié)儀或計算機(jī)系統(tǒng)配套使用。

　　

　　該變送器利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴(kuò)散，沿單晶硅片上的特點晶向，制成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測于一體的變送器。

　　

　　擴(kuò)散硅變送器的優(yōu)勢特點：

　　

　　1、適合小量程的變送器，硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應(yīng)在零點附近的低量程段無死區(qū)，制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。

　　

　　2、輸出靈敏度高，硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變計高50～100倍，故相應(yīng)的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，使用比較方便。

　　

　　3、由于傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三部分由同一個元件實現(xiàn)，沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，重復(fù)性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。

　　

　　4、由于工作單性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級，彈性芯片位移在亞微米數(shù)量級，因而無磨損，無疲勞，無老化，壽命長達(dá)1×103壓力循環(huán)，性能穩(wěn)定，可靠性高。

　　

　　5、由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能，即使是非隔離型的擴(kuò)散硅壓力傳感器，也有相當(dāng)程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。

　　

　　6、由于芯片采用集成工藝，又無傳動部件，因此，擴(kuò)散硅變送器體積小，重量輕。